PZTの焦電効果を利用した積層型静電ァクチユエータの出力評価

摘要

高温環境下でのマニピュレーションを目的として，高温 環境下で駆動可能なァクチユエータの研究が行われている (1)-(3).本研究では，高い焦電定数を持つ強誘電体であるチタ ン酸ジルコン酸鉛（PZT)の焦電効果を駆動源とした積層型 静電ァクチユエータを試作した.試作したァクチユエータ は焦電効果による静電気力を駆動源としている.本研究で は，ァクチユエータに温度変化量を与えた際の焦電効果に よる出力特性について，逆圧電効果の影響を考慮して評価 を行った.