ZnO単結晶層 を用いた を用いた UVセンサ の感度向上の ため感度向上の ため電極間距離依存性 の検

摘要

はじめに酸ィ匕亜鉛(ZnO)は，紫外線(UV)領域に対してのみに応答性を有するため，可視光遮 断フィルタが不要なUVセンサデバイスの作製が可能であり，様々な研究例が報告されている (1)。我々は低コストかつ高感度なUVセンサ作製を目的として，RFスパッタリング法を用いて サファイア((X-AI2O3)基板上にZnO単結晶層を成長し，光導電型UVセンサとしての光応答特性 について検討を行ってきた。その結果これまでには，室温喑所でのキャリア密度が低いものほど 光照射時の感度特性に優れることを報告してきた(2)。