Neues Konzept fur eine funfachsige Nanomessmaschine

摘要

Dieser Beitrag zeigt ein Konzept fur eine funfachsige Nano-Koordinatenmessmaschine zur Messung auf stark gekrummten aspharischen und frei geformten optischen Oberflachen in einem Messvolumen von 25×25×5 mm~3 mit einer maximal moglichen Anderung des Neigungswinkels von bis zu 60° zur Hochachse. Dabei wird die Probe translatorisch bewegt und der Sensor in seiner Orientierung verandert. Unter Einhaltung des Abbe-Komparatorprinzips fur alle Messachsen wird die Bewegungsabweichung des Sensors bei der Rotation durch ein in-situ-Referenzmesssystem erfasst. Dieses besteht aus drei kartesisch angeordneten Fabry-Perot-Interferometern, die den Abstand zu einer hemispharischen Referenzflache messen.