ZnO films; SEM; XRD; RF magnetron sputtering;
机译:FBAR器件在Pt / Ti / SiN_x / Si衬底上射频磁控溅射ZnO薄膜的沉积和结构特性
机译:室温下Ar + H_2环境下射频磁控溅射沉积Al掺杂ZnO薄膜的溅射参数优化
机译:沉积参数和基底表面条件对磁控溅射沉积Cu薄膜的织构,形态和应力的影响
机译:MO / SIN_X / SI基板上RF磁控溅射ZnO膜的沉积参数研究
机译:沉积参数与射频磁控溅射沉积氧化锆薄膜性能之间的关系。
机译:射频磁控溅射制备(MgAl)共掺杂ZnO薄膜的光电性能研究与研究
机译:通过RF磁控溅射在Si基板上生长的ZnO缓冲层气体气氛的影响