Silicon surface passivation; Atomic layer deposition; Dimethylaluminum chloride;
机译:走向原子尺度图案化原子层沉积:具有混合功能的Si(001)表面上的Al2O3前体的反应
机译:“零电荷” SiO2 / Al2O3叠层,用于通过原子层沉积同时钝化n(+)和p(+)掺杂的硅表面
机译:使用原子层沉积制备的Al2O3 / TiO2双层钝化堆叠提高纳米织构黑硅太阳能电池的效率
机译:硅表面钝化通过混合铝前体在Al2O3原子层沉积中
机译:铜前体在金属表面上用于原子层沉积(ALD)的表面反应性。
机译:a-Si:H(i)/ Al2O3表面钝化堆栈中原子层沉积的Al2O3膜的氧化前体依赖性
机译:Al2O3原子层沉积中混合铝前体对硅的表面钝化
机译:用于表面增强拉曼光谱的超稳定基材:由原子层沉积制备的al2O3覆盖层产量改进的炭疽生物标记物检测