Maschinenintegration von interferometrischen Prazisionssensoren

摘要

Interferometrische Messverfahren spielen aufgrund ihrer hohen Messgenauigkeit und der zahlreichen Einsatzmoglichkeiten eine wichtige Rolle in der Fertigungsmesstechnik. Zur Topographiemessung an optischen Funktionsflachen bieten hochauflosende interferenzmikroskopische Anordnungen die besten Voraussetzungen. Allerdings werden interferometrische Messungen aufgrund ihrer Schwingungsanfalligkeit in der industriellen Messtechnik kaum ausserhalb von Messraumen durchgefuhrt. Der vorliegende Beitrag zeigt, wie interferometrische Sensoren gestaltet werden konnen, damit sie sich fur dynamische, maschinennahe und maschinenintegrierte Messungen eignen. Als Schlusselkomponente kommt dabei ein oszillierender Referenzspiegel zum Einsatz, mit dem die optische Weglange im Referenzarm des Interferometers periodisch variiert wird.