Zuverlassigkeit von Relais bei der Qualifizierung von Halbleiterbauelementen

摘要

Elektromechanische Relais sind nicht in allen Fallen durch Halbleiterschalter zu ersetzen. Fur den automatisierten Serientest von Halbleitern ist es zwingend notwendig nahezu ideale Schalter einzusetzen. Da die Relais in dieser speziellen Anwendung oftmals an den Grenzen ihrer Spezifikation und daruber hinaus betrieben werden mussen, ist es besonders wichtig sie auf ihre Zuverlassigkeit hin zu uberprufen und zu bewerten. In der vorliegenden Arbeit wurde ein Konzept entwickelt, das darauf abzielt die Parameter eines Relais im Betrieb zu uberwachen. Der Weg dahin fuhrt uber Einzelmessungen der Parameter und einen Offline-Messplatz fur Langzeitmessungen. Ziel ist es, Zusammenhange zwischen Parameterwerten und Relaiszustand zu erkennen. Diese beiden Schritte sind Hauptbestandteil dieses Beitrags.