机译:CMOS相容催化剂用于丙泥:高纵横比硅纳米结构的气相中氮化钛辅助化学蚀刻
机译:用于双通道栅优先CMOS的硅化钛/氮化钛全金属栅
机译:物理气相沉积氮化钛的纳米湿法腐蚀及其在低于30nm栅长的鳍片式双栅金属氧化物半导体场效应晶体管制造中的应用
机译:使用DSP +在CMOS栅极结构中控制氮化钛的横向蚀刻
机译:二硅化钴/硅,氮化钛/硅,硅/氮化钛/硅和铜/氮化钛/硅异质结构的激光加工,性能和理论模型。
机译:随机纳米氮化钛晶粒引起的动态功率延迟的特性波动以及全能门纳米线CMOS器件和电路的纵横比效应
机译:CMOS相容催化剂用于丙泥:高纵横比硅纳米结构的气相中的氮化钛辅助化学蚀刻
机译:一种CmOs兼容工艺技术,用于制造横向嵌入的多纳米通道而无需牺牲蚀刻