Pyrolysis mechanism methyltrichlorosilane;
机译:碳化硅化学气相沉积中甲基三氯硅烷的初步分解
机译:化学气相渗透/化学气相沉积技术制备纳米多孔碳化硅膜的实验研究与计算机模拟
机译:从甲基三氯硅烷和氢气中化学气相沉积SiC的动力学
机译:甲基三氯硅烷与氢气系统化学气相沉积初始过程的主要途径研究
机译:在甲基三氯硅烷-氢系统中化学气相沉积碳化硅。
机译:甲基二氯硅烷-甲基三氯硅烷-二甲基二氯硅烷体系的等压气液平衡
机译:使用甲基三氯硅烷化学气相沉积在轴上碳化硅衬底上外延生长碳化硅
机译:化学气相沉积和等离子体辅助化学气相沉积技术形成的碳 - 碳复合材料氧化保护系统。