Closed-loop control; SOI-MEMS; Resonant accelerometer; Electromagnetic excitation;
机译:SOI-MEMS技术制造的具有两级微杠杆机制的共振加速度计
机译:基于静电刚度的共振加速度计及其闭环控制方法
机译:具有CW激光激发的谐振MEMS加速度计
机译:具有电磁激励的SOI-MEMS谐振加速度计的闭环控制
机译:闭环机电式sigma-delta微重力加速度计。
机译:电磁激发氮化硅束共振加速度计
机译:电磁激发氮化硅束共振加速度计
机译:振荡流激励的闭环分离控制