CD-SEM; CD-SAXS; Scatterometry; Mueller matrix;
机译:基于Mueller矩阵的散射技术在非常规技术节点上的非常规应用
机译:基于Mueller矩阵散射法的嵌段共聚物定向自组装结构的计量学
机译:穆勒矩阵散射法研究粗糙表面和透明双折射样品
机译:CD-Metrology(CD-SAXS,基于Mueller矩阵的散射测定法和SEM)的进展
机译:用于基于Mueller矩阵光谱椭偏仪的散射法进行定向自组装构图的光学计量学。
机译:基于Mueller矩阵的偏振成像和光学各向异性多晶网络的定量评估
机译:先进的Mueller矩阵成像椭偏仪:硅应变成像,胶原纤维3-D定位的可视化和Mueller矩阵成像显微镜的开发