silicon-containing arylacetylene resin; octa(maleimidophenyl)silsesquioxane; thermal stability; dielectric property;
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机译:含硅化合物的化学和基于硅的微电子材料的分子方法。制备金属甲硅烷基络合物,研究亚烷基与硅烷之间的反应以及氧化钛薄膜的沉积。
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