Oxygen ion beam; Pulse reactive magnetron sputtering; Al_2O_3 films; Oxygen content; Polyimide; Optical properties;
机译:反应磁控溅射沉积含氧AlN薄膜的结构性能:XRD和XPS表征
机译:反应磁控溅射沉积含氧AlN薄膜的结构特性:XRD和XPS表征
机译:反应性双极脉冲磁控溅射沉积Al_2O_3涂层的硬度与氧气流量的关系
机译:氧含量对氧离子束辅助脉冲反应磁控溅射沉积的Al_2O_3薄膜微结构和光学性能的影响
机译:通过中和离子束溅射和脉冲激光沉积沉积的n型薄膜透明导电氧化物的电学和光学性质的制备和表征。
机译:氧浓度对超薄射频磁控溅射沉积铟锡氧化物薄膜作为光伏器件上电极的性能的影响
机译:RF磁控溅射沉积的V2O5薄膜:物理性质中氧含量的影响