ナノ結晶粒界品質評価存法の開発と薄膜多結晶材料への適用

摘要

近年，薄膜材料において様々な物理化学的な性質がバルク特性と大きく異なる場合が報告されている．たとえば電気抵抗の異常な増加，機械特性の多様性（同一組成でも脆性的な特性から延性的な特性まで）など，微細結晶組織に依存して複椎な変化が生じる場合があることが知られている．このような現象はいわゆるサイズ効果では説明できない場合が多く，結晶の品質や結晶粒界性状など変動要因は多岐にわたるものと考えられる．