Particles; Silicon; Silicon films; Dielectrics; Amorphous silicon; Plasma; Switching; Plasma enhanced chemical vapor deposition; Oxides; Polymerization;
机译:低功率应用的脉冲频率调制介电势垒放电分析与设计
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机译:调幅脉冲射频放电制备纳米复合多孔低k薄膜介电常数的温度依赖性
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机译:利用放射性同位素供电的自触发静电放电系统的射频脉冲信号发射机。
机译:纳秒脉冲介质屏障放电的放电制度转变和特征演化
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