圧電アクチュエータで駆動されるXYテーブルの高精度制御

摘要

近年，圧電アクチュエータなどの優れた新型アクチュェータはナノ単位の精密位置決め機構”ナノポジショナ”に広く応用されている．しかし，これらのアクチュエータは動作原理からヒステリシス特性が存在しており，位置決め制度の低下を起こす問題がある．ヒステリシス特性とは入力値の増加時と減少時で出力経路及び出力値が異なりかつ飽和性を持つ非線形特性である．このようなヒステリシス特性を持つ圧電アクチュエータで駆動されるナノポジショナの位置決めは困難である．本稿では，適応手法により圧電アクチュエータで駆動されるXYテーブルの高精度位置制御を考察を行う．