小型白金抵抗温度計の温度一抵抗値特性の評価

摘要

近年，産業現場や学術研究の現場では，高精度の温度計測を行うニーズが高まっている．また，半導体ウェハの製造装置内の温度分布調整などの多点での同時温度計測をする場合や，さらに地球温暖化のモニタリングのような時間的にも空間的にも離れている温度計測の結果から有意な結論を得ようとする場合など，従来と比べて温度計測に対する要求が厳格になってきている．高精度の温度計測のセンサとして白金抵抗温度計が多く用いられているが，それらは一般にJIS規格に準拠したPt100などの測温抵抗体であることが多い．