金属酸化物微粒子の自己整列構造を用いたガスセンサ－粒子整列条件の検討とセンサ機能の評価

摘要

粒状の物質に最密充填構造を取らせると高表面積，高密度等の優位性を示すことから，微粒子の自己整列構造を利用したデバイス及びプロセスが盛hに研究されている。微粒子の自己組織化構造を製作する方法の一つに基板と液体の界面に発生するメニスカスを利用した移流集積法が挙げられる。移流集積法は基板表面の化学的組成及び構造を制御することで配列パターンを形成することや，基板の一括処理が可能な低コストのプロセスとして注目される。（図1）また、粒子の材料を変え、機能性を持つ異種材料を基板に堆積させることで、デバイスへの応用が期待される。