マイクロ研削盤におけるAEセンシングに関する基礎研究: ガラスの研削時のAE信号の特徴

摘要

研削加工は材料の加工において，材料の寸法精度や表面粗さの高度化に欠かせない重要な工程の一つである．研削加工では研削砥石を高速で回転させ微小研削することによって材料の表面粗さが良好になり，寸法精度も高度化させることができる．近年では，製品や生産パーツの小型化に伴い，部品寸法も小型化するなかで，マイクロ工作機械などを用いた精密研削加工においては，研削除去量や研削による加工現象は極めて小さく微視的であるため，それら加工状態の把握は困難である．加工精度や良好な加工状態を保つためにも，微視的な加工の状態監視技術の確立が求められている．