スリット絞りを有する空気ばねで支持された防振機構

摘要

筆者らは，精密機器の防振を目的として，シリンダと補助タンクをスリット状の流路で結合した構造の空気ばねを提案し，理論および実験により微小振動の低減に有効であることを明らかにするとともに，空気ばね単体および空気ばねで支持された防振機構の最適設計指針を理論的に明らかにしている．本研究では，スリット絞りを有する空気ばねを４個用いた防振機構を試作しその動特性を明らかにしたので，以下に報告する．