小型自走機械群による超精密生産機械システム－第114報 VCM と二枚平行板バネを用いた微小力発生機構の試作

摘要

近年、マイクロ·ナノ技術の発展につれ、マイクロ·ナノ加工技術が進展している。ものを加工するには、加工物の機械的性質を知ることが必要としている。しかし、マイクロ·ナノスケールの材料の機械的性質を計測するのには、極めて微小な材料であるため、従来の計測機械では困難である。それで、本研究では、ボイスコイルモーター（ VCM ）と二枚平行板バネを組み合わせた超小型の微小変位発生機構を提案し、その設計、試作を行った。試作した微小変位発生機構では、平行板バネの曲げからひずみゲージにより微小力の計測が可能となり、微小変位発生機構を用いた微小力発生機構を製作した。