スペックル干渉計測技術を用いたレンズの回折限界を超えた三次元形状計測

摘要

スペックルを用いた多くの変形計測法が報告されている．このスペックルをさらに有効かつ簡易に利用できるように，平面波を参照光として使用する新たなスペックル干渉光学系が提案されている．この新たな光学系を利用することによって，変形前後の二枚のスペックルパターンのみを用いた高分解能な変形計測が実現されている．本研究ではさらにスペックル干渉法を有効利用するために，横ずらしの変位を意図的に与えることによって，スペックル干渉計測法の測定原理に従った三次元物体の形状計測が可能な新たな測定技術を提案している．