GaN 研磨加工高能率化の研究（第2報）紫外光直接照射が可能な光透過型研磨定盤の試作とその効果

摘要

パワーデバイスは家庭用電化製品，自動車や電車などの移動体に用いられる動力に対する，電力の変換·制御に必須な部品である．動力の高性能化や省エネルギー化の要求から，パワーデバイスの性能向上が求められている．そこで，従来の Si に変えて、より電気的特性の優れた SiC や GaN 等の硬脆材料が，次世代パワーデバイス用基板の材料として期待されている．さらに，GaN は青色の高輝度 LED（Light emitting diode）にも使われる材料でもある．デバイスを作るために高平坦化は必要であり，研磨加工技術は欠かせない．しかし，GaN は高平坦を得るために 20 時間から 40 時間の加工時間を要する材料である．このことから，高平坦を短時間で得られる研磨加工技術の確立が要求されている．