分長の考え方を応用した真直形状測定に関する研究（第2報）－ラージスケールとショートスケールの形状測定の組み合わせ

摘要

真直形状測定の分野でハードウェア基準よりも精度よく測定する方法として，形状の信号と走査するセンサの案内面移動誤差をソフトウェアで分離するソフトウェアデータムがある．一方，長さの基準としてメートル原器が使われていた時代に，「高精度維持測定方法」として分長という技術が用いられていたことが紹介されている．我々はこの手法を表面形状測定の積分法に適用し誤差の伝搬が従来の方法よりも小さくなることを解析的に示し，シミュレーションでも確認した．本報では実験を行った結果について報告する．