リングビーム素子を用いた小型内面形状測定法の開発（第4報）－傷検査の試み

摘要

我々のグループで開発してきた小型内面形状測定装置を用いれば，パイプや配管などの内面形状を非接触で高速に測定することができる。この手法を用いた評価システムを開発してきた。今回，計測された内面形状の三次元表示を二次元に展開することで，傷検査の可能性を見出した。これに加えて，リングビームデバイスに使用している半導体レーザの出力ビーム特性が楕円形状であった場合，わずかに生じる輝度ムラを，回転機構を用いて補正するシステムに改良した。今回，回転角度に応じて得られる解析結果がノイズ成分の低減につながったので報告する。