N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるシリコン表面の3次元形状の作製

摘要

このN-フルオロピリジニウム塩を用いたエッチング法は光強度に依存しており、光照射強度が増加するにつれ、エッチング深さが増加することがわかっており、すでに一度の光照射でステップ形状が形成されたことが報告されている。本研究では、その発展として光強度分布をもつ光を照射することにより球面形状の作製を試みた。