リニアボールガイドがStick-slipを生じないことの実験的証明

摘要

精密な運動を行おうとするとき、Stick-slipが発生するかどうかは重要事項である。本稿では、リニアボールガイドで案内されリニアモータで駆動されるステージ機構ではStick-slipを生じないことを主として実験データから証明する。一軸ステージ機構の構成を図1に示す。リニアボールガイド(THK SPS25)，リニアモータ(KOVERY)，リニアスケール(Heidenhain LIP281分解能7.8pm)，リニアアンプ(電流指令分解能350N/18bit)が主たる構成要素である。可動部質量は22.5kg，モータ最大推力は350Nである。