マイクロニードルアレイを用いた高品位·高能率マイクロ穴加工技術の開発（第4報）―穴加工時の振動援用効果の検討

摘要

本研究では，中空構造を有するマイクロニードルアレイ工具を用いた熱インプリント応用技術によって，樹脂フィルムへ貫通穴（スルーホール）を高品位·高能率に形成できる新規なマイクロ穴加工技術の確立を目標としている．本技術は，特に，可撓性のポリイミドフィルムの両面に銅配線パターンを形成した2層構造のフレキシブル配線板（FPC）の高精細化·高密度化に必要となる極微細なスルーホール形成への応用が期待できる．本報では，樹脂フィルムへの穴加工時の振動援用効果を実験的に検証した．また，異形断面を有する貫通穴加工の可能性についても検討した．