乾式環境下でのダイヤモンドの高能率·高精度加工法の開発－窒素を利用した方法の提案

摘要

ダイヤモンドは，物理的，機械的，熱的，電気的特性に非常に優れた材料特性を有しており，切削工具や光学部品，精密金型など様々な分野で利用されている．近年では，広いバンドギャップを持ち，熱伝導率が大きく，絶縁破壊電界や電荷移動度などに優れていることから，高耐圧，低損失，高温動作可能なパワー半導体デバイス用材料として注目されている．ダイヤモンドを半導体デバイス用基板として利用するためには，ダイヤモンド基板を原子レベルで平坦，かつ無擾乱に仕上げることが必要不可欠であるといわれているが，この要求を満足する加工技術は確立されていない．