逐次三点法による大型曲面の形状測定法－変位計零点補正方法

摘要

近年，望遠鏡レンズなどに代表される1m台にもなる大型光学素子の曲面形状を0.1μm以下の精度での測定が求められている．この要求を満たす一つの方法として，実態基準を用いず，測定装置の運動誤差を分離できる逐次3点法が挙げられる．しかし，この方法を用いる場合以下の二つの影響が大きな問題となる．（i）使用する変位計の測定範囲を超える形状を測定できない．（ii）各変位計の零点位置が同一直線上に無ければ誤差を含む．（i）については前報で測定ヘッドの調整による改善方法を報告している．本報では(ii）の問題についての改善策を提案し有効性の確認を行う．