コントラストピークを用いたマイクロエンドミルの非接触位置検出方法の開発（第2報) 実際のマイクロエンドミルの刃先位置(Z方向とXY方向)検出

摘要

本研究では，マイクロ工具の底刃（Z 軸）側から金属顕微鏡で画像を得て，そのコントラストのピーク位置を検出することによって，Z 軸方向の刃先位置を高精度に検出する．また，X 軸，Y 軸方向の位置は，得られたマイクロ工具の画像から位置検出するという方法を提案する．第１報では，研削面を対象としたZ 軸方向の位置検出を高精度に検出した結果を報告した．本報では，実際のマイクロエンドミルのZ 軸方向の位置検出を行った結果と，XY 軸方向の検出プロセスの開発を行い，その繰り返し精度を求めた結果を報告する．