超精密位置決め用空気圧サーボ軸受アクチュエータ（第4報 サーボ弁の特性）

摘要

空気圧サーボ軸受アクチュエータの制御は空気圧サーボ弁で行われる。軸受アクチュエータへの入力（圧力および流量）と軸受アクチュエータの変位とは定性的に図1 の関係にある。このように変位は軸受を通過する流量に強く感応する。これらの関係から、サーボ弁が流量制御弁か圧力制御弁かによってその制御結果であるアクチュエータの出力特性が大きく影響をうけると推定される。サーボ弁のうち、流量制御弁（出力アドミッタンスが0）と圧力制御弁（出力アドミッタンスが∞）どちらが軸受アクチュエータに適しているかは、実用される弁の総合的な特性によっても大きく左右されるが、今後研究されるべき重要な課題だと考える。本報で提案されている弁は、上述の弁の中間に位置し、有限な出力アドミッタンスを持っている。この出力アドミッタンスがアクチュエータの安定性にも大きく影響するであろうことは周知のことである。以上の視点はシステム的評価に属する。これらを睨みながら、より精密なサーボ弁を得るための取組みをしている。その一部を紹介する。