多層薄膜素子の選択的レーザー加工技術の開発とその時間分解観察 (第2報)－加工性と加工現象の相関

摘要

本報告では, この加工性の違いについて, 対物レンズの倍率や層の構成を変化させることにより更に検討を行った. またレーザー照射数を変化させ, 試料表面のAl 層や下層の形状変化について検討した. さらにフェムト秒レーザーによる加工現象を直接観察できるイメージングシステムを用いて, レーザーパルス照射直後からの加工現象をピコ秒からマイクロ秒までの広い時間領域で撮影し, 層の構成の違いによる加工形状の変化や加工現象の変化について詳細な検討を行った.