Systemes de deplacement du nanometre au millimetre

摘要

Cet article aborde la microscopie optique en champ proche a l'echelle millimetrique. Une demonstration a ete effectuee en observant la propagation d'une onde lumineuse infrarouge dans un guide d'onde. L'image millimetrique a ete possible grace a un microscope a force atomique commercial associe a une platine porteechantillon instrumentee par un interferometre et utilisant des asservissements presentant d'excellentes caracteristiques de repetabilite a l'echelle nanometrique. Un composant optique integre illustre l'interet de l'imagerie multi-echelle. Les caracteristiques de propagation necessitent d'etre mesurees avec une cartographie millimetrique et une resolution nanometrique. Les donnees analysees par transformee de Fourier aboutissent a une incertitude de quelques 10~(-4) sur l'indice de propagation. Cela permet d'ameliorer la mesure des caracteristiques du guide et meme d'atteindre des niveaux de resolution compatible avec la birefringence du materiau.