Context Dependant Degradation Modeling of a PECVD Tool - (PPT)

机译：PECVD工具的上下文相关降解建模 - （PPT）

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Context dependant degradation modeling; Hidden Markov Model degradation modeling; Identification of context dependant HMMs; PECVD tool overview; PECVD Tool feature extraction; Feature sensitivity analysis.

机译：上下文相关的降级建模;隐马尔可夫模型降解建模;识别上下文相关的HMMS; PECVD工具概述; PECVD工具特征提取;特征灵敏度分析。

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来源
《ISMI Symposium on Manufacturing Effectiveness》|2009年||共16页
会议地点
作者
Dragan Djurdjanovic; Michael Cholette; Alexander Bleakie; Merve Celen;
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中图分类 TH16-53;
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