六方格子単結晶材料の残留応力測定

摘要

単結晶材料には，X線による応力測定で用いられている(sinψ)~2法が適用出来ない．単結晶材料の残留応力測定は，立方晶系材料に関しては英らやSuzukiらによって確立されており，シリコン単結晶や鉄単結晶などの残留応力測定が行われている．しかしその他の結晶構造に関しては測定法が確立されておらず，未だに測定がほとhど行われていないのが現状である．そこで本研究では，アルミナ単結晶や水晶振動子などの結晶構造である六方格子単結晶材料のX線応力測定を行うための式を作成し，4点曲げ実験によって検証を行った．