有機物添加大気圧アルゴンプラズマジェットを用いたネガ·ポジパターンの自己組織化状形成

摘要

それに対して本研究では，有機物を添加した大気圧アルゴンプラズマジェットによる炭素系薄膜パターン形成に注目して実験を進めている．有機物の種類や添加量の条件によっては，基板上での自己組織化状パターン形成が見られており，また構造物のパターンとしてネガ型とポジ型のものが得られることも分かった．これらはグラファイトやダイヤモンドに見られるような結晶構造の違いではなく，前駆体の堆積パターンの違いであり，また従来よりも1～2桁はどスケールの大きい構造制御が可能となっている．こうしたパターン制御と放電制御との関連を探りながら，新規の炭素系薄膜形成技術としての確立を目指している．