Silicon Rich Oxide; SRO; Si nanocrystals; Size control; Multilayer; Raman for size determination;
机译:通过等离子体增强化学气相沉积法在无氮二氧化硅基质中形成尺寸受控的硅纳米晶体
机译:通过等离子体增强化学气相沉积法在无氮二氧化硅基质中形成尺寸受控的硅纳米晶体
机译:通过等离子体增强化学气相沉积制备的退火富硅氧化硅膜中的硅纳米晶形成
机译:通过多层沉积可控制硅纳米晶体平均尺寸的富硅氧化物
机译:硅纳米晶体和缺陷状态在硅富硅氮化硅中用于光电应用
机译:富硅氧化硅中嵌入的硅纳米晶体的基体结构顺序与压缩应力之间的相关性
机译:通过多层沉积可控制硅纳米晶体平均尺寸的富硅氧化物