Mikro-Nano-Integration - Neue Funktionen fur Mikrosysteme durch Nanotechnologie

摘要

Die Mikro-Nano-Integration (MNI) umfasst die Integration von Nanoobjekten, Nanostrukturen bzw. Effekten der Nanotechnologie in Mikrosysteme. Der Top-Down-Ansatz beschreibt das Downscaling von Mikrostrukturen in den Nanometerbereich. Bei der Bottom-Up-Vorgehensweise werden dagegen Nanoobjekte gezielt und geordnet in Mikrosysteme eingebracht. Diese Integrationsstrategien werden in verschiedenen Anwendungsbereichen wie der Sensorik, Aktorik, in der Elektronik sowie der Aufbau- und Verbindungstechnik (AVT), Optik, in der Chemie und im Energiemanagement eingesetzt. In der vorliegenden Arbeit wird das Zusammenspiel von Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie sowie deren Integration vorgestellt. Anwendungsbereiche und Chancen werden diskutiert und bereits etablierte Anwendungen exemplarisch prasentiert. Die Einordnung der Anwendungen in den Kontext der Anwendungsbereiche und der Nanoobjekt- Dimensionen schliesst den Uberblick uber die MNI ab.