Curing Dielectric Layers with Microwaves-(PPT)

机译：用微波炉固化介电层 - （PPT）

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Dielectric materials for microelectronics: Why use microwaves? Fast curing; Low temperature curing; Selective curing; Modified properties; Variable Frequency Microwaves; Chemistry of microwave curing; Process and equipment examples.

机译：微电子介电材料：为什么要使用微波炉？快速固化;低温固化;选择性固化;修改的属性;可变频率微波;微波固化化学;过程和设备示例。

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来源
《SMTA 3D/SiP Advanced Packaging Symposium》|2007年||共38页
会议地点
作者
Zak Fathi; Dick Garard; Bob Hubbard;
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正文语种
中图分类 TN401-53;
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