Aufbau eines Motion-Analyzers zur Charakterisierung von MEMS-Strukturen - Aufbau eines hochwertigen Messplatzes mit begrenzten Mitteln

摘要

Ziel der Arbeit ist der Aufbau eines automatisierten Messsystems fur MEMS-Strukturen aus preiswerten Standardkomponenten. Dieser Motion-Analyzer kann dabei das statische und dynamische Verhalten im Hinblick auf elektrische, geometrische und mechanische Grossen untersuchen. Funktionstuchtigkeit und Messgenauigkeit des Gerats werden mit Hilfe von Referenzmessungen nachgewiesen.