マイクロ波プラズマCVDによる窒化炭素の合成とそのFE特性

摘要

炭素系材料は比較的低い電界強度で電子放出が始まり、また化学的にも物理的　にも安定であることから電子放出材としての研究が盛hに行われている1）。この　うち窒化炭素は炭素中にV族である窒素を含有することにより自由電子が導入され、電子放出が容易になることが予想され、良質の電子放出材としての応用が期待されている0本研究では、マイクロ波プラズマCVDにより作製した窒化炭素のFE特性に及ぼす合成条件の影響っいて検討した。