Diffraction grating; Micro-scanners; Micro-opto-electromechanical systems (MOEMS);
机译:用于多波长共线激光扫描的微机械振动衍射光栅扫描仪
机译:用于多波长共线激光扫描的微机械振动衍射光栅扫描仪
机译:使用基于MEMS的面内振动亚波长衍射光栅的高速,高效率激光扫描
机译:微机械振动子波长衍射光栅激光扫描仪
机译:重新配置光流:用于多路复用器和可调激光器的微加工可变形光栅。
机译:具有原子光栅应用的带有衍射光栅的细长微机械蒸气室中的激光路由
机译:50kHz微机械静电驱动振动光栅激光扫描仪