Micro-mirror; PDMS; Thermo-pneumatics;
机译:热气动驱动的基于膜的微镜设备
机译:高可靠性的电热Cu / W双压电晶片倾斜活塞MEMS镜
机译:用于天基自适应光学系统的331段尖端倾斜活塞镜阵列的设计与开发
机译:热气动驱动的尖端倾斜式镜子
机译:静电驱动2D MEMS微镜。
机译:具有高可靠性的电热Cu / W双压电晶片倾斜式MEMS镜
机译:具有高可靠性的电热Cu / W双铜尖端倾斜 - 活塞MEMS镜
机译:大孔径可变形反射镜,带有转移的单晶硅膜,采用大行程pZT单晶片执行器驱动