Microstructures; Photo-etching; X-rays; EUV;
机译:LASERIX:用于开发EUV和软X射线激光器及其应用的开放设施-使用大功率激光设施开发的XUV源:ILE,ELI
机译:使用软X射线和EUV激光等离子源进行纳米成像
机译:使用软X射线和EUV激光等离子源进行纳米成像
机译:激光等离子体软X射线和EUV源在微型和纳米技术中的应用
机译:明亮相干超快速桌面光源的开发以及EUV在软X射线吸收光谱学中的应用。
机译:使用紧凑型激光等离子体软X射线源的2 axialnm轴向分辨率的光学相干断层扫描(OCT)
机译:激光诱导等离子体X射线源及其应用。软X射线成像显微镜,具有激光产生的等离子体源。
机译:高级源开发和应用。激光产生的等离子体:具有高峰值亮度的紧凑型软X射线源。