Neue Lotwerkstoffe und -systeme fur Mikrolotverbindungen im Bereich der Medizin und der Luft- und Raumfahrt

摘要

Fur die Herstellung von Mikrosystemen und vor allem von hybriden Mikrobauteilen spielt heutzutage die Verbindungstechnologie eine zentrale Rolle. Sie ermoglicht das Fugen von Mikrokomponenten, die bei der Herstellung technologisch nicht kompatibel sind aufgrund ihrer haufig unterschiedlichen Werkstoffeigenschaften und verschiedenen Funktionen. Je nach spezifischer Anwendung muss die eingesetzte Fugetechnik diverse Anforderungen erfullen. Beispiele hierfur sind gute thermische und chemische Verbundeigenschaften in der Verfahrenstechnik, und hohes Bruchverhalten der Verbindung fur Mikrobauteile der Luft- und Raumfahrttechnologie oder hohe Biokompatibilitat der Fugezone im Bereich der Medizintechnik. Wesentlicher Anspruch in der Mikrosystemtechnologie ist eine niedrige Prozesstemperatur, damit die Mikrobauteile wahrend des Fugeprozesses nicht geschadigt werden.