MEMS reliability; optical lever; resonance tracking; piezoelectric actuation; MEMS in liquids;
机译:O.Tabata和T.Tsuchiya(编):MEMS的可靠性:材料和器件的测试Wiley-VCH,魏因海姆,xx + 303页,110英镑,ISBN 978-3-527-31494-2
机译:MEMS陀螺仪中作为结构材料的Ni-Fe的可靠性测试
机译:GeoPT能力测试计划中分配值的可靠性来自对六种被鉴定为参考物质的测试材料的数据评估
机译:测试液体中MEMS材料的可靠性
机译:MEMS反射镜阵列的可靠性和重复性测试与表征过程。
机译:应用于振动环境的MEMS IMU的可靠性测试程序
机译:硅和SU-8的质子辐射公差作为高可靠性MEMS的结构材料
机译:mEms可靠性:基础设施,测试结构,实验和失效模式.LDRD的工作总结:开发mEms可靠性工具的集成方法