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目录
变量注释表
1 绪论
1.1 课题来源（Source of Subject）
1.2 选题背景及研究意义（Background and Significance）
1.3 研究现状（Research Status）
1.4 论文研究的主要内容（Main Research Contents）
1.5 本章小结（Summary）
2 MEMS微观摩擦磨损试验装置的设计
2.1 试验装置基本设计要求（Design Requirements for the Test Rig）
2.2 试验台的测量原理（The Principle of Measurement）
2.3 旋转摩擦盘与上试件设计（Design of Upper Sample and Wear Disk）
2.4 法向载荷与摩擦力测量装置设计（Design of Normal Load and Friction Test Devices）
2.5 载荷的施加与测量（ The Application and Measurement of Normal Load）
2.6 旋转角度的测量（The Measurement of Rotating Angle）
2.7 上试件安装自适应结构设计（ Design of the Self-aligning Structure for Assembling Upper Sample）
2.8 润滑系统设计（Design of the Lubricate Bath）
2.9 电机的选择（Selection of the Motor）
2.10 其他外围设备（Other Devices）
2.11 上位机控制界面（ The Interface of Control and Data Acquisition Software）
2.12 测试装置的装配图（Assembly of the Tribometer）
2.13 本章小结（Summary）
3 MEMS微观摩擦磨损试验台性能测试
3.1 实验步骤（Process of Operating）
3.2 试验台动态性能测试（The Dynamic Property of Tribometer）
3.3 初步测量（Preliminary Measurement）
3.4 本章小结（Summary）
4 硅基MEMS器件液体润滑性能的研究
4.1 Stribeck曲线（The Curve of Stribeck）
4.2 载荷对微观表面润滑的影响(The Influence of Normal Load on Friction)
4.3 润滑液粘度对润滑性能的影响（The Influence of Lubricant Viscosities on Friction）
4.4 表面纹理对润滑性能的影响（ The Influence of Surface Texture on Friction）
4.5 磨损情况分析（The Wear Status of Friction）
4.6 本章小结（Summary）
5 纳米磁性液体磁控润滑研究
5.1 纳米磁性液体的简介（The Introduction of Ferrofluid）
5.2 纳米磁性液体粘磁效应（ Magneto-viscosity Effect of the Ferrofluid）
5.3 纳米磁性液润滑性能测试（The Lubrication Performace Tests of Ferrofluid）
5.4 改变磁场对磁性液体润滑摩擦系数的影响（ Influence of Ferrofluid on friction coefficient under Different Magnetic Field）
5.5 本章小结（Summary）
6 总结与展望
6.1 主要结论（Conclusions）
6.2 本文主要创新点（Innovations）
6.3 展望（Prospects）
参考文献
作者简介
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