MEMS; cantilever; resonance; polysilicon; pull-in; vibrometer; gravimetry; wet etching;
机译:从表面微机械悬臂上的简单电气测量中提取参数
机译:磁共振悬臂移频测量的统一图
机译:使用固定频率驱动器进行简单,超快的谐振频率和耗散漂移测量
机译:微型悬臂梁共振频率的简单测量技术
机译:用于微/纳米悬臂梁热性能测量的热反射技术
机译:磁共振的悬臂频移测量的统一图片
机译:使用固定频率驱动器简单而超快的谐振频率和耗散换档测量