Inertaial Navigation; Microelectromechanical devices; Silicon on insulator technology; Semiconductor device fabrication;
机译:使用玻璃回流工艺实现具有嵌入式晶圆通孔的玻璃上硅MEMS器件,用于晶圆级封装和3D芯片集成
机译:使用玻璃回流工艺实现具有嵌入式晶圆通孔的玻璃上硅MEMS器件,用于晶圆级封装和3D芯片集成
机译:使用绝缘体上电镀金属工艺制造的中尺度MEMS惯性开关
机译:绝缘体上硅惯性MEMS器件处理
机译:硅的激光束处理:绝缘体上硅材料和器件的激光退火和激光重结晶研究
机译:MEMS S&A器件金属/硅复合结构的混合制造工艺
机译:朝向惯性级振动微晕术:高Q内硅式绝缘体调谐叉装置